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Sputterbeschichtung

Mit der Steigerung der Leistungsfähigkeit sind unsere Scanner nun auch im Bereich der Sputterbeschichtung im Einsatz. Sei es, um die optische Qualität des Substrats vor der Beschichtung sicherzustellen oder um die Scheiben nach der Sputterlinie optisch zu prüfen.

Detektion von

Ablagerungen auf den Glasoberflächen

Aufgabenstellung

Mit zunehmender Verschmutzung des Waschmediums einer Waschmaschine vor der Sputter-Linie leidet die Sauberkeit der Oberflächen. Waschrückstände verbleiben auf den Oberflächen und führen beim anschließenden Sputterprozess zu großen Problemen.

Lösung

In einem Prüfrezept wird ein maximaler akzeptabler Verschmutzungsgrad angegeben, der zu einer „Kritisch“ oder „Schlecht“ Bewertung führt. Nähert sich der Verschmutzungsgrad diesen Leveln, wird ein Meldesystem zu den relevanten Personen in Gang gesetzt, um die Reinigungsmedien wieder zu erneuern oder die bald notwendige Instandhaltungsmaßnahme zu planen. Unser genau darauf spezialisierter Quality Scanner 2D Coating (Hellfeld Transmission und Dunkelfeld Reflexion) prüft dabei insbesondere die nach oben zeigende Scheibenoberfläche, die in der Regel beschichtet wird.

Detektion von

Beschichtungsproblemen

Aufgabenstellung

Die Prüfung der Beschichtung auf Pinholes, Fehlstellen, Überspannungsfehler (Arcing) und andere typische Fehlerbilder erfolgt durch Mitarbeiter, die natürlich nicht alle Defekte erkennen und gleichzeitig dokumentieren können.

Lösung

Der Quality Scanner 2D Coating erkennt die beschriebenen Fehler selbst bei einer Transportgeschwindigkeit bis 80 m/min. Darüber hinaus werden auch Kratzer auf der unteren Scheibenoberfläche erkannt, die durch den internen Transport verursacht sein können. Natürlich können die Fehlerkoordinaten dem Bandmaß zugeordnet werden. Durch Zuteilung eines Barcode kann das Bandmaß individualisiert und die Fehlerkoordinaten dem Kunden mitgegeben werden.

Ihre Vorteile

Instandhaltung

Die automatische Bewertung der Waschergebnisse ermöglicht eine bessere Planung der Instandhaltungsmaßnahmen.

Reports

Alle Ergebnisse der Qualitätskontrollen werden protokolliert und für interne oder externe Zwecke bereitgestellt.

Komplette Prozesskontrolle

Bevor sich beim Sputtern Serienfehler einschleichen, werden diese durch die Software erkannt und gemeldet.

Kontakt

Sie möchten ein Projekt mit uns abstimmen oder haben Fragen zu Produkten und Leistungen? Dann rufen Sie uns einfach an oder senden Sie uns eine E-Mail. Wir freuen uns auf Ihre Nachricht!

Kontaktdaten

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Telefonnummer
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