Mit zunehmender Verschmutzung des Waschmediums einer Waschmaschine vor der Sputter-Linie leidet die Sauberkeit der Oberflächen. Waschrückstände verbleiben auf den Oberflächen und führen beim anschließenden Sputterprozess zu großen Problemen.

In einem Prüfrezept wird ein maximaler akzeptabler Verschmutzungsgrad angegeben, der zu einer „Kritisch“ oder „Schlecht“ Bewertung führt. Nähert sich der Verschmutzungsgrad diesen Leveln, wird ein Meldesystem zu den relevanten Personen in Gang gesetzt, um die Reinigungsmedien wieder zu erneuern oder die bald notwendige Instandhaltungsmaßnahme zu planen. Unser genau darauf spezialisierter Quality Scanner 2D Coating (Hellfeld Transmission und Dunkelfeld Reflexion) prüft dabei insbesondere die nach oben zeigende Scheibenoberfläche, die in der Regel beschichtet wird.

Die Prüfung der Beschichtung auf Pinholes, Fehlstellen, Überspannungsfehler (Arcing) und andere typische Fehlerbilder erfolgt durch Mitarbeiter, die natürlich nicht alle Defekte erkennen und gleichzeitig dokumentieren können.

Der Quality Scanner 2D Coating erkennt die beschriebenen Fehler selbst bei einer Transportgeschwindigkeit bis 80 m/min. Darüber hinaus werden auch Kratzer auf der unteren Scheibenoberfläche erkannt, die durch den internen Transport verursacht sein können. Natürlich können die Fehlerkoordinaten dem Bandmaß zugeordnet werden. Durch Zuteilung eines Barcode kann das Bandmaß individualisiert und die Fehlerkoordinaten dem Kunden mitgegeben werden.